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数值孔径共1篇

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EUV光刻技术的推进相当困难，光刻机龙头ASML也是举步维艰，一点点改进。 快科技9月7日消息，ASML宣布，将在今年底发货第一台支持高NA(数值孔径)的EUV极紫外光刻机，型号“Twinscan EXE:5000”。...