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EUV光刻技术的推进相当困难，光刻机龙头ASML也是举步维艰，一点点改进。 快科技9月7日消息，ASML宣布，将在今年底发货第一台支持高NA(数值孔径)的EUV极紫外光刻机，型号“Twinscan EXE:5000”。...
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收入占ASML收入的百分比从2016年的7％增加到2020年的45％。预计到2023年，ASML 根据我们题为“Sub100nm光刻：市场分析和战略问题”的报告，ASML的EUV收入在2020财年超过了其DUV浸没式设备的收入...